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產(chǎn)品詳情:

 

型號	YP1731 設(shè)備名稱晶圓AOI
類型	晶圓臟物檢測
外形尺寸	800*950*1400mm  (WxDxH)
晶圓臺面高  度	850mm
適應(yīng)產(chǎn)品規(guī)	格 8寸  (小尺寸需改承載臺部分)
定位精度	±0.03mm  (X,Y)
定位精度	±0.05mm  (Z)
重復(fù)精度	±0.02mm  (X,Y)
視覺系統(tǒng)	500萬像素黑白CCD，  遠心鏡頭，      點光源
最小缺陷尺	寸 3um
工控系統(tǒng)	自主研發(fā)動作軟件
工廠要求	電壓：  220V，  50Hz  真空：  80-99Kpa
設(shè)備功率	900W